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商品訊息描述: 好康半導體製程已進入奈米線幅,而廣義微影技術為半導體製程之核心,惜國內尚無中文微影技術專書,因此決定教研之餘撰寫本書,以彌補此缺憾與空白,並為推動科技中文化,略盡個人棉薄。

最新出版本書重點在微影技術原理與概念之說明,而不在生產線上實務細節之描述。內容包括微影技術全部重要內涵,例如微影製程、微影光學、主要微影方法、其他微影方法、圖罩與圖規、阻劑、解像度增進技術、銅互連線、化學機限定商品械研磨、電漿蝕刻與光學微影模擬。基於多年在交通大學應用化學研究所之教學經驗,本書亦包含瞭解微影技術必要之矽製程背景知識與基礎光學。

末來數年,半導體量產線幅當推進至45-32-22奈米技術節點,光學微影製程之難度日益增加,對製程工程師之挑戰亦日益升高。本書對相關領域讀者應有所助益與參閱價值。

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現職
國立交通大特價產品學應用化學系暨研究所教授

學歷
美國杜蘭大學特惠組合化學博士

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商品訊息簡述:

  • 出版社:五南   
    新功能介紹
  • 出版日期:2010/07/08
  • 語言:繁體中文


 


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下面附上一則新聞讓大家了解時事



過去一周市場回顧 | 全球財經 | 全球 | 聯合新聞網
歐美股市貿易緊張及經濟放緩 美股跌儘管美國商務部給予華為90天的寬限期,但美國封殺華為對半導體供應鏈帶來影響,許多企業接連宣布暫停與華為的業務往來,加上市場傳出川普政府正在考慮將包括中國影像監控公司海康威視在內的更多中國企業列入黑名單,美中態度轉趨強硬引發市場擔憂美中貿易對峙持續的可能性上升,輔以美國經濟數據不如預期,拖累美股下跌,聯準會會議紀錄強調將在一段時間內對調整利率保持耐心,且近期通膨下滑可能是暫時性的。中美貿易情勢與科技冷戰引發投資人風險趨避,加上英國首相梅伊提前辭去保守黨黨魁與首相,歐股周線收黑。美國數據不如預期,歐洲錯綜:美國上周初請失業救濟金人數減少1千人至21.1萬人,優於預估,惟5月Markit美國製造業PMI初值降至50.6的9年半新低,服務業PMI初值降至50.9,為39個月新低,4月新屋銷售及成屋銷售分別月減6.9%及0.4%,均不如預期;歐元區及德國5月Markit製造業採購經理人指數初值下滑至47.7及44.3,德國同期IFO企業景氣指數自99.2下滑至97.9,掩蓋法國同期綜合超實用非逛不可採購經理人指數初值升至51.3、創去年11月來高點的利多。. } }); } 新興股市亞股下挫 拉美東歐股市走揚美國對中國通訊與監控設備業者制裁加劇貿易衝突擴大至科技戰擔憂、中方態度亦強硬,利空拖累亞股下挫領跌新興股市收黑,惟拉美東歐股市呈現上漲走勢。美國擬將五家中國影像監控設備業者列入制裁名單切斷技術供應,Google以及英特爾等晶片業者均將凍結對華為的關鍵軟硬體供應,美中貿易衝突擔憂加溫衝擊中港股市走勢疲弱,所幸市場預期貿易衝突反而有助中國科技自主發展、略支撐盤勢。美中貿易衝突升溫、全球經濟前景擔憂壓抑投資情緒,然拉美市場在巴西股市引領下逆勢收高,退休金改革法案擬議立法的報告可能於6月15日前提交,且傳出眾議院支持法案的議員人數較先前增加,市場對改革進度的樂觀期待掩蓋美中貿易戰升溫利空,巴西股滙周線雙雙收高。俄羅斯4月份工業生產年增率大幅上升至4.9%、優於預期,俄羅斯盧布計價公債需求旺盛、布蘭特油價上半周仍守在每桶70美元之上,支撐俄股周線收高。債市美歐購買新上市領漲主要公債市場富時全球債券指數本周續揚0.31%,中美貿易衝突仍熾,市場避險氣氛強烈,推升保守型公債表現。美國雖然就業數據仍強,但5月Markit製造業及服務業數據不佳、新屋銷售及芝加哥聯儲全美活動指數亦不如預期,而且聯準會會議紀錄強調將對調整利率保持耐心,美國公債指數再揚0.58%。儘管歐元區5月消費者信心指數初值回升,但適逢歐洲議會選舉期間,而且英國脫歐進展仍在糾結中,市場謹慎以待,英國公債上漲0.96%領先。(彭博資訊,截至5/23)油價下跌,石油進口國的印度公債最近流行產品省荷包上揚0.82%,其亦受惠於印度國會大選現任執政聯盟大獲全勝的利多。巴西公債也有0.81%漲幅,政府提出的改革法案已有部份獲下議院的核准,市場偏樂觀期待退休金改革法案的審議進網路熱賣商品網路熱銷度,惠譽信評則維持對巴西的債信評等為BB-,信評展望為穩定。(彭博資訊,截至5/23)匯市美國數據不如預期 美元小幅走貶聯準會會議記錄顯示政策制定者認為沒有必要升息或降息,美元在觸及兩年來高點後回落,美元指數周線貶值0.19%。歐元區及德國5月Markit製造業採購經理人指數初值下滑至47.7及44.3,分別連續4四個月及連5個月萎縮,加上歐洲議會選舉干擾,歐元周線升值0.28%。中美貿易戰升溫,美債殖利率大幅走降降低美日利差,加上日本4月核心消費者物價指數年增0.6%,創近3年新高,日圓周線升值0.49%。新興市場貨幣漲跌不一,美國表示如果土耳其向俄羅斯購買導彈系統將面臨制裁風險,里拉周線貶值0.68%。儘管巴西5月份CNI工業信心指數下滑至56.5,但政府提出的改革法案已有部份獲下議院的核准,市場偏樂觀期待退休金改革法案的審議進度,巴西里拉升值1.41%。印度國會大選現任執政聯盟大獲全勝的利多,印度盧比周線升值0.84%。(彭博資訊,截至5/24 下午4:00)資料來源/富蘭克林證券投顧


 整體規劃重疊、市區衝擊交通 高捷岡山路竹線環評挨轟


2018年08月14日 上稿編輯: 賴溫狠 環境資訊中心記者 賴品瑀報導

承諾了沿線住戶不會拆遷,卻恐怕讓未來的行人、自行車、機車深陷險境,「高雄捷運岡山路竹延伸線」計畫14日在環保署進行第二次初審,遭小組質疑在路竹市區路段的設計思維非「以人為本」,且整體規劃更顯得高鐵、台鐵、捷運三者角色重疊。

此案還可補件再審,提案開發的高雄市政府捷運局還有第三次初審的補考機會,小組要求補充台一線路竹市區路段的因應規劃、地質調查與路網整體計畫等。


此案將在既有的「台1線」上方以立體的方式建置捷運。高雄捷運局指出,高捷岡山路竹延伸線為南高兩市整體大眾運輸的一環,讓高雄都會區北向交通軸線再延伸,大岡山、路竹與湖內地區都將因此納入捷運服務範圍。

不過,在5月底的第一次初審時,就遭小組質疑此案必要性,要求再說明服務對象與既有交通運具、接駁缺口,甚至要求提出其他包括台鐵、接駁公車等替代交通運具的可能性,也對交通可能轉移比率的合理性及其轉移來源提出質疑,要求提供交通模式預測驗證依據。 市區狹窄路邊將擠爆 挨批不是「以人為本」

這次高雄捷運局提出的補充仍遭到砲轟。由於為了建造捷運高架墩柱,將縮減台1線既有車道、路肩。

雖然高雄捷運局表示將維持現有的車道數,雙向2快1慢、3快1慢車道,但王价巨、李克聰等委員批,在路竹市區路段,原本路幅就已狹窄,新的設計路邊卻只剩下1.4公尺的空間,路面上還有許多既有的設施;沒有路肩,行人專用道、自行車道都沒有設置;加上必然會發生的臨停、違停,機車也無安全的行駛空間。甚至是天氣炎熱,機車駕駛最需要的可以遮陰的植栽,也都沒有空間安排。


王价巨批,這樣的設計與「以人為本」的概念背道而馳。環委馬小康更直言,自己就住在附近,既有的國1線在路竹市區段已讓他相當不滿,這樣的規劃無疑加重交通問題,他相當不支持。

沿線居民300多戶已組成自救會,反對為了開路再次徵收拆屋。路竹區台一線自救會執行長林宏裕表示,他們之前已遭徵收拆屋三次,這次要再拆就不能住了。而高雄捷運局則表示,這次保證絕對不會有任何拆遷。而自救會擔心的噪音問題,高捷則表示都有預留設置隔音牆的空間,將來可能需要裝上。

但王价巨提醒,雖然不會拆屋,這樣狹窄的路與噪音,還有景觀上的壓迫感,捷運的量體就是一定要22公尺寬,不可能變得輕薄短小,沿線居民若是意識到問題的嚴重性,將來絕對會激烈抗議,高雄捷運局應該再加強收集民意,不該輕忽環境衝擊,因為目前在環評資料上都只是輕描淡寫。 高鐵、台鐵、捷運 三者重疊 環委質疑 政院曾退件16次

「缺的是接駁轉乘,不是捷運。」李克聰直言,高雄捷運局將人口老化作為此案的理由並非妥當,使用代步車者根本不可能開上捷運,而使用代步車的老人將越來越多,高捷說將來未來使用私人運具者,四成將因此轉搭捷運。「我不相信。」李克聰表示,老年人需要的公共運輸,是從家裡的接駁,而不見得是捷運。

「台鐵的接駁做的好,高鐵就不用延伸。」李克聰表示,目前高雄地區大眾交通的規劃,呈現高鐵、台鐵、捷運,三者角色重疊的狀況。對於自救會提出以輕軌與台鐵共軌的建議,李克聰也大表贊同,認為這是高雄市政府應該重新思考的。

林宏裕指出,此案已遭行政院國發會駁回了16次,更明確指出與台1線、台鐵重複的狀況,要求更改捷運路線。既然高雄市政府至今還是堅持不改,交通部就駁回這個計畫,但卻在前閣揆林全時代還是同意了。林宏裕不滿,如此將耗費300億以上,若是依慣例追加預算,將浪費500億元左右,這是子孫的錢,不該為了工程或炒土地利益而強要開發。

馬小康則表示,這條捷運顯然是為了南科高雄園區、橋頭科學園區楠梓加工出口區的員工而開,且主要就是南科,高市府卻沒有老實交代,卻大談老年人口需求。

地質專業的環委李錫堤提醒,當地有岡山向斜、軟弱地層的地質問題,高捷提出的高架型捷運「頭重腳輕」的設計,在地震狀況下是不利的,因此要求補充當地地層向下變形、軟弱地層沉陷、地震危害度、土壤液化等地質資料,以及說明工程設計上的因應規畫。







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